干式真空泵相关介绍，真空泵从业者必看！-西安诚德真空设备有限公司

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干式真空泵相关介绍，真空泵从业者必看！

发布时间： 2024-10-16 作者：admin 分享到：

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1、干式真空泵的介绍及原理

干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

立式双螺杆干式真空泵，它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘，并且无需过滤器。.优化的螺杆外形设计使功率消耗降到.低，简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体，易于清洗维护。

2、独特的冷却方式

很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死，另外一个原因是由于长期运转，转子会由于热胀冷缩而发生形变，造成泵的卡死。

干式真空泵的冷却方式：

目前市面上的干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。而有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却，很好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物质分解，及高温易聚合的物质，比如HCN及MMA生产企业就比较适合。

3、干式真空泵的特点

有些真空泵是两个电机同步驱动，在确保全速和扭矩控制的同时，保证在泵运行时维持无部件相互接触；无密封设计，确保无泄露；通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持.小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。

1）清洁环保；2）真空度高；3）防腐设计（..技术）；4）可抽除可凝性气体及少量粉尘气体（..技术）；5）特殊轴封设计，杜绝被抽介质与润滑系统互相污染；6）防过载设计；7）运转平稳；8）高标准配置；9）附件配置齐全；10）优质健全的零配件供应。

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