真空泵综述
真空泵是真空获得设备中的主要种类,用于获得、改善和(或)维持真空环境。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。真空技术主要是建立低于大气压力的物理环境,以及在此中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术获得的真空度可以分为四档。
按照工作原理的不同,真空泵分为气体传输泵和气体粘合或捕集泵两大类,其中气体传输泵的市场规模占比约为65%。其中气体传输泵分类方式又多种多样。
泵行业相关政策梳理
泵广泛应用于工业、农业及生活领域的通用机械,泵行业不仅受相关法律法规的保护和规范,同时受相关产业政策的引导和支持。与泵行业相关的法律法规有:《中华人民共和国质量法》《中华人民共和国水法》《中华人民共和国农业法》《中华人民共和国农业技术推广法》《中华人民共和国农业机械化促进法》等。
真空泵产业链
从真空泵产业链来看,上游是关键零部件主要包括导管、保温罩和加热器;下游真空泵被广泛应用于制药、化工、食品、电子等行业。
真空泵行业现状分析
1、供需情况
从产量上来看,近年来我国真空泵产量持续下降。据中国通用机械协会数据,2020年我国真空泵产量为526.64万台,同比下降24.40%。
从全球真空泵应用领域来看,2019年半导体领域是规模.大的下游市场,占比37%,规模约17.3亿欧元。2020年以来真空泵行业结构转型趋势明显,干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵,在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。2、细分市场情况
真空泵为光伏设备的关键部件之一。光伏电池主要分为四大流程:硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。真空泵主要应用于硅片拉晶,电池片高方阻扩散(低压扩散炉)和PVD、PECVD镀膜工艺,组件层压环节等。设备中的真空稳定性是工艺稳定的关键技术之一,以电池片镀膜为例,真空镀膜技术的优点有:薄膜厚度可进行控制,以制备具有各种不同功能的功能性薄膜;环境清洁,薄膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
从硅片真空泵市场需求来看,2022/2023年全球硅片环节真空泵市场将达13.3/14.2亿元,其中新增装机市场10.5/10.4亿元,维修市场2.8/3.8亿元;从电池片真空泵市场需求来看,2022/2023年电池片环节真空泵市场将达13.8/12.5亿元,其中新增装机市场8.7/5.3亿元,维修市场5.1/7.2亿元,维修和替换需求将贡献更多市场增量。
干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备,应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁或严苛制程。从市场空间来看,2022年全球半导体用干式真空泵市场将达196.4亿元,同比增长9.3%。3、进出口现状
“真空泵”海关编码“84141000”。从进出口贸易来看,2021年我国真空泵进口数量为282.8万台,进口金额为10.49亿美元;出口数量为1175.5万台,出口金额为4.22亿美元。
从进口金额地区分布情况来看,我国主要向日本、德国、韩国进口高精密真空泵,三个地区进口金额占比分别为29.19%、19.08%、18.34%。