干货！螺杆型干式真空泵详解-西安诚德真空设备有限公司

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干货！螺杆型干式真空泵详解

发布时间： 2024-10-16 作者：admin 分享到：

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1.工作原理

螺杆泵的工作循环可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现以其中的一对齿来说明。

2.干式螺杆真空泵特征

①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。

②操作维护方便。

③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。

④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.

⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

3.螺杆式干式真空泵的应用

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。

在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得；化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物；医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂；食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。具体如下：

具体应用：干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域能够抽除普通空气，易燃易爆气体、腐蚀性气体，尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。

具体应用：真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。

纺织、冶金等行业在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵。

具体应用：真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。

一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。

①清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气；

②中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物；

③恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物（有毒甚至致癌）及固体颗粒物。

另一类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。

4.干式螺杆真空泵的操作方法

1)开机前的检查与准备

①检查真空泵各个部件是否齐全；

②在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；

③检查确认真空机组各个阀门的状态；

a.工艺入口阀关闭

b.入口过滤器排污阀关闭?

c.出口管线畅通，出口管排污阀打开

d.冷却水入口管线和出口管线阀门打开

e.氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭

2)干式螺杆真空泵的开机操作步骤

a.现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；

b.关闭出口管排污阀；

c.检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5——3L/min；

d.打开吹扫阀，确认流量计流量调至.大，吹扫5——10分钟后，关闭吹扫阀；

e.打开工艺入口阀，切入系统；

f.真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量.大，位于5刻度时水量.小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。

3.螺杆真空泵的停机操作步骤

a.关闭工艺入口阀，切出系统；

b.打开吹扫阀，吹扫20——40分钟后，关闭吹扫阀；

c.通过现场操作柱停止按钮停机；

d.关闭氮气阀门；

e.关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；

f.打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。

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